流量計(jì)用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備
?流量計(jì)用于半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備
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■ 顯示并監(jiān)控轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)和液體的流量，以確保噴射的液體附著均勻。
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選定點(diǎn)
1.流量測(cè)量
■可以從微小流量進(jìn)行測(cè)量（XFS系列）
■寬流量范圍、高溫度、高耐壓（VC系列）
■通過(guò)0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模擬輸出測(cè)量瞬時(shí)流量
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2.轉(zhuǎn)速測(cè)量
■通過(guò)0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模擬輸出測(cè)量軸的旋轉(zhuǎn)速度
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3.傳感
■高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器