開(kāi)發(fā)了一種用于 5G 的絕緣材料，該材料使用具有低傳輸損耗的光敏樹(shù)脂。我們還實(shí)現(xiàn)了 L/S=5μm/5μm 的超精細(xì)絕緣圖案形成。

【技術(shù)概要】

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感光性聚酰亞胺樹(shù)脂已廣泛用作傳感器基板等電子部件的層間絕緣膜。今后，在將這些電子部件用作數(shù)十GHz以上頻帶的通信設(shè)備的情況下，為了抑制傳輸損耗，要求絕緣膜具有比現(xiàn)在低的介電特性。

昭和電工材料利用自有技術(shù)成功開(kāi)發(fā)出介電常數(shù)為2.4、介電損耗角正切為0.0018的低介電光敏樹(shù)脂。此外，我們還通過(guò)光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)了L/S=5μm/5μm的精細(xì)絕緣圖案形成。

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【這項(xiàng)技術(shù)的特點(diǎn)】

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降低高頻帶的

傳輸損耗 以往，作為傳感器的層間絕緣膜使用的感光性聚酰亞胺樹(shù)脂的介電特性，難以充分抑制高頻帶的傳輸損耗。該公司通過(guò)重新審視傳統(tǒng)樹(shù)脂的骨架結(jié)構(gòu)并開(kāi)發(fā)新的精煉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了低介電性能（Dk = 2.4，Df = 0.0018）并將高頻段的傳輸損耗降低了 20%。

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通過(guò)抑制吸水實(shí)現(xiàn)的高靈敏度傳感器

當(dāng)溫濕度傳感器暴露在高濕度環(huán)境中時(shí)，傳感器內(nèi)部的樹(shù)脂會(huì)吸收周圍的水分，從而降低其介電性能。這種介電特性的劣化阻礙了電信號(hào)的通過(guò)并降低了傳感器的靈敏度。因此，為了提高傳感器的靈敏度，需要吸水率低的樹(shù)脂。本次開(kāi)發(fā)的低介電光敏樹(shù)脂是一種用于溫度和濕度傳感器的光敏絕緣材料，因?yàn)樗哂袃?yōu)異的介電性能，可抑制高頻段的傳輸損耗，吸水率低，并保持傳感器的靈敏度。傳感器。適用于 此外，由于可以進(jìn)行精細(xì)圖案化，因此可以應(yīng)用于半導(dǎo)體電子電路的形成。

通過(guò)

感光性可以進(jìn)行精細(xì)圖案化 具有感光性，通過(guò)曝光和顯影可以進(jìn)行L/S = 4 μm/4 μm、L/S = 5 μm/5 μm的精細(xì)圖案化。

優(yōu)異的柔軟性

與感光性聚酰亞胺樹(shù)脂相比，具有優(yōu)異的機(jī)械性能（彈性模量為 0.4 GPa，斷裂伸長(zhǎng)率為 150%，殘余應(yīng)力為 1 或以下）和柔軟性，具有抑制導(dǎo)電和電路畸變的特性。